硅光电二极管

低エネルギー (1 keV以上)の電子線を高感度に直接検出

■特長
・低エネルギー (1 keV以上)の電子線を高感度に直接検出
・高ゲイン: 300倍
   高検出効率: 72 % (入射電子エネルギー: 1.5 keV)を実現
・大受光面サイズ: 14 × 14 mm
・受光部中心にφ2.0 mmの貫通穴を形成
・4分割フォトダイオード
・薄型セラミックパッケージ
・磁性の弱い基板材質を採用

仕様