硅光电二极管

高信頼性VUV検出用フォトダイオード

S10043は、高出力ArFエキシマレーザ (193 nm)を正確に安定して検出するためのSiフォトダイオードです。新規開発した極薄PN接合と高信頼性を実現した極薄金属膜の形成技術を組み合わせることで、1 kJ/cm2のArFエキシマレーザ照射後でも感度劣化はほとんどありません。

■特長
・ArF (λ=193 nm)エキシマレーザ照射に対して感度安定性を大幅に改善
・受光窓なしのパッケージ

仕様