硅光电二极管

VUV (真空紫外)検出用フォトダイオード

S8553はVUV (真空紫外)光に感度をもつフォトダイオードです。特にエキシマレーザ ArF (λ=193 nm)の検出に適しています。VUV領域での使用に適した設計により、従来品と比較しVUV光照射に対する感度の安定性が向上しています。

■特長
・ArF (λ=193 nm)エキシマレーザに対する信頼性が向上
・大受光面サイズ: 18 × 18 mm
・窓なしパッケージを採用: 25.5 × 25.5 mmセラミックパッケージ

仕様